二維增量式平面光柵尺
簡(jiǎn)介:
1、二維線(xiàn)性測(cè)量光柵尺
2、光柵周期20 μm,玻璃盤(pán)
3、測(cè)量范圍可達(dá)105 x 89 mm(更大可以定制)
4、測(cè)量角度范圍 可達(dá) ±10’
5、細(xì)分 為×100,細(xì)分電路在15pin Sub-D接頭內(nèi)
6、讀頭尺寸精巧
7、多種安裝方式
8、高分辨率、高精度
9、高細(xì)分精度,信號(hào)可自動(dòng)調(diào)整l
10、每個(gè)測(cè)量方向一個(gè)原點(diǎn)信號(hào)
技術(shù)參數(shù):
機(jī)械參數(shù):
1、讀頭重量:17g (不含線(xiàn))
2、可選分辨率:0.05μm、0.1μm、0.2μm、0.5μm、1μm、5μm
3、速度參數(shù):
無(wú)細(xì)分電路--max. 600 m/min --->10 m/s
細(xì)分?jǐn)?shù)x50--max. 96 m/min --->1.6 m/s
4、測(cè)量范圍:
長(zhǎng)度--105 x 89 mm(更大可以定制)
角度--±10’
5、測(cè)量標(biāo)準(zhǔn):
材質(zhì)--玻璃,厚度1.1mm
柵距--20 μm
參考信號(hào)位置--測(cè)量行程的起點(diǎn)處
6、線(xiàn)性膨脹系數(shù):8.5x10-6K-1
7、精度等級(jí):± 5 μm
電子參數(shù):
1、掃描頻率:max. 500 kHz
2、輸出信號(hào):
電壓輸出--1 VPP
方波輸出--RS 422(無(wú)細(xì)分)、RS 422 (×100 細(xì)分)
3、電源:5V ± 10%
4、電流損耗:
電壓輸出--80mA 每相
方波輸出--200mA 每相
5、線(xiàn)長(zhǎng):
固定線(xiàn)長(zhǎng)--最長(zhǎng)3m
總長(zhǎng)-- 100m(延長(zhǎng)線(xiàn))
使用環(huán)境:
1、使用溫度:0°C .. +55 °C
2、儲(chǔ)存溫度:-20°C .. +70 °C
3、濕度:93% RH (無(wú)冷凝)
光柵讀頭尺寸圖:
光柵盤(pán)尺寸圖:

安裝方式:

主要市場(chǎng) |
金屬加工設(shè)備 半導(dǎo)體設(shè)備 生物,醫(yī)療設(shè)備
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