二維增量式平面光柵尺
簡(jiǎn)介：
1、二維線性測(cè)量光柵尺
2、光柵周期20 μm，玻璃盤(pán)
3、測(cè)量范圍可達(dá)105 x 89 mm（更大可以定制）
4、測(cè)量角度范圍 可達(dá) ±10’
5、細(xì)分 為×100，細(xì)分電路在15pin Sub-D接頭內(nèi)
6、讀頭尺寸精巧
7、多種安裝方式
8、高分辨率、高精度
9、高細(xì)分精度，信號(hào)可自動(dòng)調(diào)整l
10、每個(gè)測(cè)量方向一個(gè)原點(diǎn)信號(hào)
技術(shù)參數(shù)：
機(jī)械參數(shù)：
1、讀頭重量：17g （不含線）
2、可選分辨率：0.05μm、0.1μm、0.2μm、0.5μm、1μm、5μm
3、速度參數(shù)：
無(wú)細(xì)分電路－－max. 600 m/min --->10 m/s
細(xì)分?jǐn)?shù)x50－－max. 96 m/min --->1.6 m/s
4、測(cè)量范圍：
長(zhǎng)度－－105 x 89 mm（更大可以定制）
角度－－±10’
5、測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)：
材質(zhì)－－玻璃，厚度1.1mm
柵距－－20 μm
參考信號(hào)位置－－測(cè)量行程的起點(diǎn)處
6、線性膨脹系數(shù)：8.5x10-6K-1
7、精度等級(jí)：± 5 μm
電子參數(shù)：
1、掃描頻率：max. 500 kHz
2、輸出信號(hào)：
電壓輸出－－1 VPP
方波輸出－－RS 422（無(wú)細(xì)分）、RS 422 （×100 細(xì)分）
3、電源：5V ± 10%
4、電流損耗：
電壓輸出－－80mA 每相
方波輸出－－200mA 每相
5、線長(zhǎng)：
固定線長(zhǎng)－－最長(zhǎng)3m
總長(zhǎng)－－ 100m（延長(zhǎng)線）
使用環(huán)境：
1、使用溫度：0°C .. +55 °C
2、儲(chǔ)存溫度：-20°C .. +70 °C
3、濕度：93% RH (無(wú)冷凝）
光柵讀頭尺寸圖：
光柵盤(pán)尺寸圖：
安裝方式：
| 主要市場(chǎng) |
|
金屬加工設(shè)備 半導(dǎo)體設(shè)備 生物，醫(yī)療設(shè)備 |
