產(chǎn)品鏈接
產(chǎn)品優(yōu)點
全行程測量精度高—± 1 μm
重現(xiàn)性高— 0.05 μm
專為工業(yè)環(huán)境設計—防護等級IP64
結構緊湊，安裝方便快捷
多種結構配置可供選擇
堅固的設計—高的機械和熱穩(wěn)定性
為多點式測量設備特別設計
簡化檢測裝置的構造
無需反復校準，測量長期穩(wěn)定
球型探頭可承受較大的徑向力且摩擦力很小
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產(chǎn)品規(guī)格
規(guī) 格：NT 12; NT 30
測量範圍：12 mm; 30 mm
分 辨 率：0.05μm; 0.1μm; 0.2μm; 0.5μm; 1.0μm
移動速度：Max: 72m/min
參考點位置：上極限以下 5 ± 0.5mm 處
精度等級：±1 μm
測桿驅(qū)動方式：手 動 / 氣 動
防護等級：IP 64
輸出信號：1Vpp/11μApp/RS 422
電源電壓：DC 5V±10%
線 長： 標準: 1.5m (Max: 30m )
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主要市場
半導體設備、各種需要高精度、小行程的檢測設備
應 用
直線度檢測、平面度檢測、幾何公差測量、硅晶片的厚度測量、量塊校準、直線導軌的誤差測量、計量和生產(chǎn)控制、量塊校準和測量設備的檢查、多點檢測設備、位置測量
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