上海微敏自控新推出雙軸線性精密平臺
規(guī) 格
?有效行程 100 mm
?編碼器分辨率 50 nm / 0.1μm
?全行程 直線度 / 平面度 25mm / 2.5μm
? 負(fù)載 7Kg
?驅(qū)動力 32 N (使用 HR8馬達(dá))
?保持力 28 N (使用 HR8馬達(dá))
?外觀尺寸 75mm x 175(±50)mm
?重現(xiàn)性 ±0.5μm 使用0.1μm 編碼器 (標(biāo)準(zhǔn))
±200nm 使用50nm 編碼器 (可選)
?軸 X-Y
|
|
|
|
